應材指出，SiC 晶圓表面品質任何缺陷都會影響到後續系統層開發，因此對 SiC 元件的製造至關重要，...

2021-09-10 07:35:22 有 98 人按讚

應材指出，SiC 晶圓表面品質任何缺陷都會影響到後續系統層開發，因此對 SiC 元件的製造至關重要，而自家的 Mirra Durum CMP 系統可將成品晶圓的表面粗糙度降低 50 倍！

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